MEMS Product Engineering - Ortloff, Dirk; Ortloff; Schmidt, Thilo; Bieniek, Tomasz; Bieniek, Tomasz; Brück, Rainer; Brück, Rainer; Hahn, Kai; Hahn, Kai; Janczyk, Grzegorz; Janczyk, Grzegorz (Springer Vienna, 2014)