Atomic Layer Deposition for Semiconductors

Full text!
Type:
e-book
Titel:
Atomic Layer Deposition for Semiconductors
Auteur:
Seong Hwang, Cheol
Taal:
Engels
Uitgever:
Springer US 2014
ISBN:
1-4614-8053-1
1-4614-8054-X
Permalink:
http://bibtest.howest.be/catalog/ebk03:2550000001151416