Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Full text!
Type:
e-book
Titel:
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors
Auteur:
Ruiz, Pilar Gonzalez; De Meyer, Kristin; Gonzalez Ruiz, Pilar; Witvrouw, Ann
Taal:
Engels
Uitgever:
Springer Netherlands 2014
ISBN:
94-007-6798-6
94-017-8140-0
94-007-6799-4
Permalink:
http://bibtest.howest.be/catalog/ebk03:2670000000424563